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1、 半导体电子洁净车间布局要求 半导体电子洁净车间从布局上是一个独立的空间,在车间外围设置一环形密封走廊它使洁净区与外界有了一个缓冲地带,能够防止外界污染同时也相对节能。 洁净车间内门窗宜于内墙面平整, 不设置窗台。 外窗的层数设置和结构形式要充分考虑对空气水分的密封, 使污染粒子不易从外部渗入。 为防止室内外温差而产生结露, 室内不同洁净度的房间之间的门窗缝隙要密封。 门
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